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ＶＬＳＩプロセス技術～高歩留りのための問題点とその解決～
小林 稔,
中島 蕃,
垂井 康夫
著
発行年月 |
1993年06月 |
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言語 |
日本語 |
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媒体 |
冊子 |
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ページ数／巻数 |
１４３，２ｐ |
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大きさ |
22 |
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ジャンル |
和書 |
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ISBN |
9784526033384 |
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商品コード |
0193254098 |
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NDC分類 |
549.7 |
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商品URL
| https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=0193254098 |
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内容
半導体技術は、ＩＣ、ＬＳＩを経てＶＬＳＩ、ＵＬＳＩの世代に入った。このＬＳＩ技術について、プロセス開発途上でどんな問題点が発生し、どのように解決されてきたかについてまとめる。
