商品詳細 | Knowledge Worker

薄膜作成の基礎　第４版　

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価格 \4,180（税込）

発行年月	2005年07月
出版社／提供元	日刊工業新聞社
言語	日本語
媒体	冊子
ページ数／巻数	３５２ｐ
大きさ	21
ジャンル	和書
ISBN	9784526055034
商品コード	0105071239
NDC分類	549.8
基本件名	薄膜
商品URL	https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=0105071239

著者紹介

麻蒔　立男（著者）：〈麻蒔立男〉昭和９年愛知県生まれ。現在東京理科大学工学部教授。著書に「真空のはなし」「超微細加工の基礎」など。

内容

前半では薄膜を作るために必要な真空技術を理解し、後半で薄膜を作るための技術を多数紹介する。９６年刊に次ぐ第４版。

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