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ＵＬＳＩプロセスの基礎技術(Ｍａｒｕｚｅｎ ａｄｖａｎｃｅｄ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ)
古川 静二郎,
石原 健
著
発行年月 |
1991年03月 |
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言語 |
日本語 |
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媒体 |
冊子 |
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ページ数／巻数 |
262p |
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大きさ |
22 |
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ジャンル |
和書 |
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ISBN |
9784621035832 |
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商品コード |
0193140647 |
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NDC分類 |
549.7 |
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商品URL
| https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=0193140647 |
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内容
光・Ｘ線リソグラフィーから薄膜形成，欠陥制御まで，各分野の第一人者による最新技術の解説と次世代への展望．超微細加工技術のすべて．
