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半導体デバイスシリーズ<1>　集積ナノデバイス

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価格 \5,280（税込）

発行年月	2009年11月
出版社／提供元	丸善出版
言語	日本語
媒体	冊子
ページ数／巻数	227p
大きさ	21
ジャンル	和書／理工学／電気・電子工学
ISBN	9784621082089
商品コード	0109108056
NDC分類	549.8
基本件名	半導体
本の性格	学術書/学生用
新刊案内掲載月	2010年01月2週
商品URL	https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=0109108056

著者紹介

権田　俊一（著者）：〈権田俊一〉大阪大学名誉教授。
谷口　研二（著者）：〈谷口研二〉大阪大学大学院工学研究科所属。

内容

ナノスケールＶＬＳＩデバイス技術について、動作原理の基礎と諸問題の技術的背景、その対処法を解説する。ナノ領域における開発現場での応用と着目点、解決すべき問題をまとめたテキスト。

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