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半導体デバイスシリーズ<3> プロセスインテグレーション
権田 俊一,
谷口 研二
著
発行年月 |
2010年09月 |
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言語 |
日本語 |
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媒体 |
冊子 |
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ページ数／巻数 |
295p |
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大きさ |
21 |
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ジャンル |
和書／理工学／電気・電子工学 |
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ISBN |
9784621082843 |
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商品コード |
0110074109 |
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NDC分類 |
549.8 |
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本の性格 |
学術書/実務向け |
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新刊案内掲載月 |
2010年11月1週 |
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商品URL
| https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=0110074109 |
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著者紹介
権田 俊一（著者）：〈権田俊一〉大阪大学名誉教授。
谷口 研二（著者）：〈谷口研二〉大阪大学大学院工学研究科所属。
内容
集積回路製造プロセスの専門テキスト。各種プロセス技術を組み合わせて性能向上を図るプロセスインテグレーションについて、個々のプロセスの基本原理を解説した上で、最適な組み合わせを見出すための考え方と知識を提供する。
