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丸善のおすすめ度
はじめての半導体ドライエッチング技術(現場の即戦力)
野尻 一男
著
発行年月 |
2012年01月 |
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言語 |
日本語 |
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媒体 |
冊子 |
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ページ数／巻数 |
8p,162p |
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大きさ |
21cm |
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ジャンル |
和書／理工学／電気・電子工学／電気機器 |
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ISBN |
9784774149400 |
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商品コード |
1007981459 |
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NDC分類 |
549.8 |
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本の性格 |
実務向け |
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新刊案内掲載月 |
2012年01月3週 |
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商品URL
| https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=1007981459 |
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著者紹介
野尻 一男（著者）：群馬大学大学院研究科修士課程修了。(株)日立製作所技術開発のリーダーなどを経て、ラムリサーチ(株)取締役・CTO。共著に「先端電気化学」など。
内容
ドライエッチングのメカニズムを極力数式を使わないで説明した入門書。プロセスから装置、新技術に至るまで系統的に理解できるように解説。ドライエッチング技術の今後の課題と展望についても言及する。
