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丸善のおすすめ度

薄膜工学第3版

金原　粲　監修
日本学術振興会薄膜第131委員会　他

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価格 \4,180（税込）

発行年月	2016年11月
出版社／提供元	丸善出版
言語	日本語
媒体	冊子
ページ数／巻数	10p,302p
大きさ	21cm
ジャンル	和書／理工学／電気・電子工学／電気機器
ISBN	9784621300985
商品コード	1023366679
NDC分類	549.8
基本件名	薄膜
本の性格	テキスト
新刊案内掲載月	2017年01月2週
商品URL	https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=1023366679

内容

薄膜分野に携わる研究者・技術者に最適な、基本技術の解説書。薄膜工学の基礎から、薄膜作製法、評価法、薄膜の機能と応用までをまとめる。近年広がりをみせる薄膜技術に対応するため、大幅な改訂を行った第3版。

1 薄膜工学の基礎(薄膜の歴史薄膜と工学ほか) 2 薄膜作製法(真空蒸着法・MBE法スパッタリングほか) 3 薄膜評価法(膜厚・形状評価結晶構造評価ほか) 4 薄膜の機能と応用(半導体薄膜(シリコン系) 半導体薄膜(化合物) ほか)

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