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ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用

表面技術協会  編
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価格 \5,060(税込)         

発行年月 2016年12月
出版社/提供元
言語 日本語
媒体 冊子
ページ数/巻数 10p,305p
大きさ 21cm
ジャンル 和書/理工学/工学一般/工学一般
ISBN 9784339046502
商品コード 1023668885
NDC分類 566.7
基本件名 金属表面処理
本の性格 実務向け
新刊案内掲載月 2017年01月2週
商品URL
参照
https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=1023668885

内容

「ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎」の応用編。真空技術からプロセスモニター、炭素系薄膜まで、研究現場や製造現場で基礎技術をベースに的確にドライプロセスが実施できるよう、工夫して解説する。

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