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プラズマプロセス技術～ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー～
プラズマ・核融合学会
編
発行年月 |
2017年01月 |
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言語 |
日本語 |
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媒体 |
冊子 |
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ページ数／巻数 |
7p,273p |
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大きさ |
22cm |
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ジャンル |
和書／理工学／工学一般／工学一般 |
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ISBN |
9784627775619 |
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商品コード |
1023702472 |
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NDC分類 |
501.4 |
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本の性格 |
実務向け |
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新刊案内掲載月 |
2017年03月1週 |
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商品URL
| https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=1023702472 |
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内容
半導体製造・バイオ・医療といった様々な分野で用いられるプラズマプロセス技術について，基礎から応用まで解説する．超微細エッチングやプラズマCVDによる成膜，カーボンナノチューブをはじめとする各種ナノ材料・構造の創製など，とくにナノ・アトムテクノロジー領域での活用が広がっていることを背景に，最先端のプラズマ利用における技術的指針を与える内容となっている．
