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Review超高真空技術の新展開~数式による解析から真空回路・分子流ネットワークへ~(電子版/PDF)

吉村 長光  著

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価格 \37,800(税込)         

発行年月 2017年04月
出版社/提供元
言語 日本語
媒体 EBOOK
ファイル形式 PDF
ページ数/巻数 2p,6p,6,318p
ジャンル 和書/理工学/機械工学/流体工学
ISBN 9784860434823
商品コード 1025269533
NDC分類 534.93
基本件名 真空技術
商品URL
参照
https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=1025269533

内容

超高真空技術の展開を様々な論文をもとに解説する。「表面による残留ガスの収着と表面からのガスの脱離」「ガス放出量や透過係数などのデータ」「分子流ネットワーク解析」などを収録。


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著者紹介

吉村 長光(著者):大阪府立大学工学部電子工学科卒業。工学博士、技術士(応用理学部門)。2000年日本電子(株)を退職。長年にわたって日本真空学会とアメリカ真空学会の会員として、論文発表を行った。

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