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真空科学ハンドブック

日本真空学会  編
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価格 \21,600(税込)         

発行年月 2018年03月
出版社/提供元
言語 日本語
媒体 冊子
ページ数/巻数 8p,578p
大きさ 27cm
版型 B5
ジャンル 和書/理工学/機械工学/流体工学
ISBN 9784339009088
商品コード 1027110533
NDC分類 534.93
基本件名 真空技術
本の性格 学術書/実務向け
新刊案内掲載月 2018年05月

内容

真空の基礎科学から作成・計測・保持する技術に関わる科学的基礎を解説。また、成膜、プラズマプロセスなどの応用分野で真空環境の役割を説き、極高真空などのこれまでにない真空環境が要求される研究・応用への取組みなどを紹介。

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