著者紹介

内容

目次

1．真空とは何か 　1.1　真空技術の歴史 　1.2　真空とは何か，なぜ真空が必要か 　参考文献 2．気体の性質 　2.1　気体についての基礎的なこと 　2.2　気体分子の速度分布 　2.3　平均自由行程（mean free path） 　2.4　壁面をたたく分子数 　2.5　粘性係数 　2.6　熱伝導 　2.7　熱遷移（themal transpiration） 　2.8　拡散係数 　2.9　気体の流れ 　2.10　導管のコンダクタンス 　2.11　非定常流についての考察 　問題 　参考文献 3．気体と固体 　3.1　表面現象と真空 　3.2　物理吸着と化学吸着の特性 　3.3　吸着の確率と吸着時間 　3.4　熱的適応係数 　3.5　表面拡散 　3.6　吸着速度と脱離速度 　3.7　吸着平衡 　3.8　吸着媒表面 　3.9　真空の作成と測定に関係する気体と表面との相互作用 　3.10　荷電粒子，光と表面および吸着質との相互作用 　3.11　気体の溶解と透過 　3.12　固体のガス放出 　参考文献 4．真空内の放電 　4.1　真空内の火花放電 　4.2　表面の汚れと2次電子放出 　4.3　マルティパクタリング放電 　4.4　加速器における真空と放電 　参考文献 5．真空ポンプ 　5.1　真空ポンプの性能の評価法 　5.2　機械的真空ポンプ 　5.3　蒸気噴射ポンプ 　5.4　表面現象を利用するポンプ 　5.5　排気速度測定法 　参考文献 6．真空度測定 　6.1　低い圧力の測定 　6.2　真空計 　6.3　真空計の構成 　6.4　質量分析器 　問題 　参考文献 7．真空装置の特性 　7.1　コンダクタンスの計算例 　7.2　真空計の設計法 　7.3　真空排気系の排気時間 　7.4　真空装置の実例 8．もれ探し 　8.1　もれについて 　8.2　もれ探しの簡単な方法 　8.3　プローブガス法 　8.4　もれ検出器（leak detector） 　8.5　応答の時定数，その他 　問題 　参考文献