オージェ電子分光法は実用化されて既に２５年ほど経過し、多くの事業所で材料の評価法として多用されている。また、単に解析のみではなく、半導体の製造ラインや、研究所の薄膜作成装置などにプロセス監視装置として組み込まれている。このようにオージェ電子分光法は「標準的」解析法となっているが、他の表面分析法と同様、正確なデータを取得するためにはノウハウを知らなければならないし、また装置や解析ソフトの進展も著しい。ここでは、詳しい原理的な解説は出来るだけ他書に譲り、装置のそばに置くマニュアルを作成するという基本構想で記述することに心がけ、読者に役立つノウハウなどを多く盛りこんだものとする。
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