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丸善のおすすめ度
【MeL】プロセスインテグレーション （半導体デバイスシリーズ 3）
権田 俊一,
谷口 研二
著
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数量
冊
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価格
\20,691（税込）
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発行年月 |
2010年09月 |
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言語 |
日本語 |
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媒体 |
電子 |
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ページ数／巻数 |
２９５ｐ |
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ジャンル |
和書 |
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商品コード |
1014015976 |
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NDC分類 |
549.8 |
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本の性格 |
学術書/実務向け |
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商品URL
| https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=1014015976 |
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内容
集積回路製造プロセスの専門テキスト。各種プロセス技術を組み合わせて性能向上を図るプロセスインテグレーションについて、個々のプロセスの基本原理を解説した上で、最適な組み合わせを見出すための考え方と知識を提供する。
