内容

目次

第Ⅰ編　透明導電膜材料開発および膜形成技術の新展開 第1章　金属酸化物透明導電膜　　　　　 1　高分子フィルムへの高性能透明導電薄膜形成技術　　　 1.1　はじめに 1.2　透明導電膜材料と薄膜作製法 1.2.1　透明導電膜材料 1.2.2　透明導電薄膜作製方法 1.3　プラスチックフィルムへの透明導電膜作製例と諸特性 1.3.1　低電圧化マグネトロンスパッタ法によるITO薄膜の作製例 1.3.2　低エネルギーイオンプレーティングによるITO薄膜 1.3.3　パルスレーザーディポジション(PLD)法によるITO薄膜 1.3.4　低温プロセスによるITO薄膜の諸特性と課題 1.3.5　N‐MHVスパッタ法による低抵抗・結晶化ITO薄膜 1.4　金属合金/誘電体ナノ積層化による低抵抗透明導電膜 1.4.1　金属/酸化物ナノ積層化透明導電薄膜 1.4.2　金属/窒化物ナノ積層化透明導電薄膜 1.5　今後の課題とまとめ 2　低ダメージスパッタ成膜による高品質ZnO系透明導電膜形成技術　　 2.1　直流マグネトロンスパッタ成膜の問題点 2.2　ZnO系透明導電膜のマグネトロンスパッタ成膜 2.3　薄膜太陽電池用ZnO系透明電極のRF+DC-MSD 3　プリンテッド透明導電膜材料　　　　 3.1　はじめに 3.2　ITOナノインク 3.3　ITOナノ粒子合成指針 3.4　ITOナノ粒子合成法開発 3.5　確立したITOナノ粒子合成法 3.6　おわりに 4　透明電極形成用低酸素含有ZnO系粉末および焼結体ターゲットの開発 4.1　はじめに 4.2　特殊な酸化亜鉛粉末 4.3　導電性酸化亜鉛粉末の製法 4.4　導電性酸化亜鉛粉末の焼結性 4.5　低酸素含有A1添加酸化亜鉛粉末をターゲットに用いた直流マグネトロンスパッタ法によるAZO薄膜作製 4.6　ZnO系焼結体ターゲットの作製 4.6.1　焼結体の作製と物性 4.6.2　直径6インチ焼結体ターゲットの作製と物性 4.7　ZnO系焼結体ターゲットを用いたスパッタ製膜 第2章　金属ナノ粒子・ナノワイヤ・金属メッシュ透明導電膜　　 1　高透明導電性金属メッシュフィルム　　　 1.1　はじめに 1.2　印刷法とめっき法による金属メッシュフィルムの製造方法について 1.2.1　触媒含有インクについて 1.2.2　下地層について 1.2.3　印刷方法 1.2.4　めっき方法 1.3　印刷法とめっき法による金属メッシュフィルムの特性 1.4　電磁波シールドフィルムの設計 1.5　おわりに 2　銀塩写真技術を応用した透明導電性フィルム「EXCLEAR」　　　 2.1　はじめに 2.2　銀塩写真技術を応用した透明導電性フィルムの原理 2.3　全面導電化技術と無機EL電極への応用 2.4　3次元成型加工と組み合わせた透明シールド材料としての応用 2.5　おわりに 3　銀ナノ粒子およびナノワイヤーを用いた塗布型導電性フィルム　　　 3.1　はじめに 3.2　透明導電材料について 3.3　透明導電性フィルムの特性と応用 3.4　銀ナノワイヤーを用いた透明導電性フィルムの構造と特性 3.4.1　層構成 3.4.2　各層の機能 3.5　今後の展開 4　銀ナノワイヤ透明導電膜ならびに有機太陽電池の開発　　　 4.1　はじめに 4.2　銀ナノワイヤ透明導電膜の室温プレスならびにその特性 4.2.1　銀ナノワイヤ透明導電膜の導電性発現 4.2.2　室温プレスした銀ナノワイヤ透明導電膜のフレキシビリティ 4.2.3　室温プレスした銀ナノワイヤ透明導電膜の表面粗さ 4.3　有機太陽電池への応用 4.4　銀ナノワイヤならびにその用途に関する既往研究の紹介 4.5　まとめ 第3章　グラフェン・CNT透明導電膜 1　三次元CNTナノネットワーク導入による透明導電性材料設計　　 1.1　はじめに 1.2　材料設計のコンセプト 1.3　静電相互作用を用いた複合粒子の設計 1.4　透明導電性複合材料の作製例 1.5　今後の展望 2　Flexible Transparent Electrodes Based on Carbon 2.1　 Introduction 2.2　Conductive inks based on CNTs 2.2.1　CNT-hybrid films ECO TOUCH I 2.2.2　CNT-hybrid films ECO TOUCH II 2.3　Graphene based TCFs 2.3.1　Production of graphene based TCFs 2.3.2　Feasibility of future TCFs based on graphene 2.4　Conclusions 3　可溶化グラフェンを用いた透明電極/有機薄膜素子電極形成と評価　　　　 3.1　はじめに 3.2　グラフェン透明導電膜の形成手法 3.3　グラフェン透明導電膜の可能性 3.4　グラファイト単結晶の単層剥離、可溶化 3.5　酸化グラフェン塗布膜形成と還元 3.6　塗布形成グラフェン透明電極を用いた有機薄膜太陽電池 3.7　酸化グラフェンの正孔輸送層への応用 3.8　塗布形成グラフェン透明電極を用いた半透明有機薄膜電界効果トランジスタ 3.9　おわりに 4　結晶性カーボンナノリボンの透明電極材への応用　　　 4.1　はじめに 4.2　カーボンナノリボン 4.2.1　作製方法 4.2.2　特徴 4.2.3　透明電極用材料としての可能性 4.3　酸化カーボンナノリボン 4.3.1　特徴 4.3.2　透明電極用材料としての可能性 4.4　おわりに 5　グラフェンのウエットコーティングプロセスの開発　　　 5.1　開発の背景 5.1.1　注目の新素材グラフェン 5.2　グラフェンの製造方法 5.2.1　テープ剥離法 5.2.2　溶媒抽出法 5.2.3　基板法(触媒法) 5.2.4　酸化黒鉛法 5.2.5　SiC昇華法 5.2.6　エピタキシャルCVD 5.2.7　グラフェン製造方法における課題 5.3　グラフェンフラワーのウエットコーティングプロセス 5.3.1　グラフェンの大量合成方法 5.3.2　グラフェンの溶液への分散 5.3.3　グラフェンのウエットコーティング 5.4　おわりに 第Ⅱ編　透明導電膜の応用展開 第4章　薄膜太陽電池用透明電極の新展開　　　 1　スパッタ製膜されたZnO系透明導電膜の高性能化　 1.1　はじめに 1.2　多結晶ZnO:Al薄膜の構造・電気・光学特性　 1.3　多結晶ZnO:Al薄膜の粒界制御の検討 1.4　更なる高性能化に向けて―In2O3、 SnO2、 ZnO系透明導電膜の比較 1.5　おわりに 2　ZnO系透明電極の薄膜太陽電池への適合性と添加不純物との関係　　　　 2.1　はじめに 2.2　Si系薄膜太陽電池への適合性 2.2.1　添加した不純物の種類の影響 2.2.2　電気的特性と添加不純物との関係 2.2.3 表面テクスチャー形成と添加不純物との関係 2.3　Cu2Oヘテロ接合太陽電池への適合性 2.4　おわりに 3　混晶系透明導電膜のCIGS 太陽電池への応用 3.1 はじめに 3.2 CIGS太陽電池について 3.3 CIGS太陽電池用透明導電膜に必要な条件 3.4 CIGS太陽電池用透明導電膜の開発 3.5 混晶系透明導電膜を開発する意義 3.6 スパッタ法によるZn1-xMgxO系透明導電膜の体積 3.7 ZnO系透明導電膜の電気特性と結晶配向性の相関 3.8 まとめ 4　スプレー法によるZnO成膜　　 4.1　はじめに 4.2　成膜プロセス 4.3　スプレー熱分解法 4.4　スプレー成膜 4.5　太陽電池への応用 4.6　おわりに 5　太陽電池電極用インクと成膜装置　　　　 5.1　はじめに 5.2　太陽電池電極用インク 5.2.1　薄膜Si太陽電池の構造と塗布型裏面電極の概要 5.2.2　Agナノインク 5.2.3　ITOナノインク 5.2.4　シリカインク 5.3　電極形成用インクの成膜 5.3.1　電極インク塗工技術の検討 5.3.2　スロットダイコーターによる成膜プロセスの概要 5.3.3　裏面電極の詳細観察 5.3.4　塗布型裏面電極搭載セルの性能評価 5.4　おわりに 第5章　タッチパネル・有機EL用透明電極の新展開 1　タッチパネル用透明導電性フィルム　　　 1.1　透明導電性フィルムについて 1.1.1　透明導電性フィルムについて 1.1.2　タッチパネル用途に要求される導電性について 1.2　タッチパネル用途の透明導電性フィルムの構成 1.2.1　抵抗膜式タッチパネルと透明導電性フィルムの構成について 1.2.2　静電容量(投影型)方式タッチパネルと透明導電性フィルムについて 1.3　透明導電性フィルムの加工(表面処理)について 1.3.1　表面処理:透明導電膜(ITO膜) 1.3.2　表面処理:HC層、アンチニュートンリング層(抵抗膜方式) 1.3.3　表面処理:アンダーコート層(光学調整層) 1.4　透明導電性フィルムのタッチパネル加工時の適正について 2　プラスチックフィルム基板上酸化亜鉛透明導電膜-成膜技術と物性- 2.1　はじめに 2.2　成膜法 2.3　ポリエステルフィルム基板上ZnO透明導電膜 2.3.1　多層成膜法と粒径 2.3.2　電気特性 2.3.3　光学特性 2.3.4　屈曲特性 2.4　おわりに 3　タッチパネル用透明導電材の技術動向　　　　 3.1　はじめに 3.2　タッチパネルに於ける導電材の動向 3.2.1　主電極材―ITO膜 3.2.2　ITO代替 3.2.3　周辺回路材料の導電材 3.3　タッチパネル用その他導電材料など 3.4　今後の技術動向 3.5　まとめ 4　有機EL用透明導電膜　　 4.1　はじめに 4.1.1　平坦性 4.1.2　導電性と透明性 4.1.3　仕事関数 4.2　TFTバックプレーンを考慮に入れた透明導電膜 4.3　導電性高分子(ICPs)を用いた有機EL素子 4.4　グラフェンを用いた有機EL素子 4.5　まとめ 5　低ダメージスパッタ法による薄膜作製技術と有機ELへの応用　　　 5.1　はじめに 5.2　高エネルギー粒子の有機膜表面への入射によるダメージ生成 5.2.1　電子照射によるPL強度の変化 5.2.2　Arイオン照射によるPL強度の変化 5.3　ITO透明電極のスパッタ成膜による有機膜のPL強度の減少 5.4　有機EL素子での検証 5.4.1　有機EL素子の発光および電流電圧特性 5.4.2 　Al陰極からの電子注入特性 5.4.3　 ITO陽極からの正孔注入特性 5.5　まとめ　　 第6章　窓材用としての新展開 1　光学特性を可変する調光窓(スマートウィンドウ)　 　　　 1.1 はじめに 1.2　調光窓の種類 1.2.1　温度による変化(サーモトロピックウィンドウ、サーモクロミックウィンドウ) 1.2.2　ガスによる変化(ガスクロミックウィンドウ) 1.2.3　電気による変化(エレクトロクロミックウィンドウなど) 1.3　調光ミラー 1.3.1　調光ミラーの発見 1.3.2　ガスクロミック方式調光ミラー 1.3.3　エレクトロクロミック方式調光ミラー 1.4　おわりに 2　エコガラス「Low-E複層ガラス」　　　　 2.1　はじめに 2.2　エコガラスの構造と機能 2.3　おわりに 3　エコ窓用透明断熱フィルム　　　 3.1　はじめに 3.2　熱線反射型透明断熱フィルム 3.2.1　スパッタによる透明断熱フィルム 3.3　エコ窓への応用 3.3.1　熱貫流率 3.3.2　日射透過率 3.4　おわりに 4　金属電着型エレクトロクロミズムと調光窓への展開　　　 4.1　はじめに 4.2　エレクトロクロミズムの現況と構造的・物性的特徴 4.3　金属電着型エレクトロクロミズムの特徴 4.4　調光窓への応用 4.5　おわりに 第7章　評価技術　　　　　 1　タンデム型薄膜太陽電池用局所効率・ヘーズ測定装置「MPEC-opt1300」 1.1　はじめに 1.2　装置の概要 1.3　太陽電池モジュールにおけるミニセル作成機能 1.4　装置の機能 1.5　おわりに 2　透明導電膜のキャラクタリゼーション　　　　 2.1　はじめに 2.2　組成の評価 2.3　構造の評価