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ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎(電子版/PDF)

表面技術協会  編
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価格 \3,080(税込)         

発行年月 2013年04月
出版社/提供元
言語 日本語
媒体 EBOOK
ファイル形式 PDF
ページ数/巻数 6p,198p
ジャンル 和書/理工学/工学一般/工学一般
ISBN 9784339346312
商品コード 1031983185
NDC分類 566.78
新刊案内掲載月 2013年06月1週
商品URL
参照
https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=1031983185

内容

本書では,まずドライプロセスの歴史的発展過程にふれ,次にこれを支える基盤技術である「真空」「プラズマ」を解説。さらに,代表的


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