真空ハンドブック 3訂版
内容
目次
第1章 真空の基礎 第2章 真空用部品 第3章 真空用構成材料 第4章 熱 第5章 低 温 第6章 プラズマ・イオンビーム 第7章 表面分析 第8章 薄膜・表面加工 第9章 化学・薬品・食品工業の真空の応用
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