「ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎」の応用編。真空技術からプロセスモニター、炭素系薄膜まで、研究現場や製造現場で基礎技術をベースに的確にドライプロセスが実施できるよう、工夫して解説する。
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