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半導体微細パターニング~限界を超えるポスト光リソグラフィ技術~(電子版/PDF)

岡崎 信次  監修
   
価格 \44,000(税込)         
発行年月 2017年04月
出版社/提供元
エヌ・ティー・エス
言語 日本語
媒体 EBOOK
ファイル形式 PDF
ページ数/巻数 2p,10p,382,12p
ジャンル 和書/理工学/電気・電子工学/電気機器
ISBN 9784860434724
商品コード 1025060778
NDC分類 549.7
基本件名 リソグラフィー
商品URLhttps://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=1025060778

内容

光リソグラフィ技術について解説し、EUVリソグラフィ技術、ナノインプリント技術、電子線描画技術といった、光リソグラフィ技術を超える「ポスト光リソグラフィ技術」の技術動向を概観する。


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