半導体デバイス～基礎理論とプロセス技術～ 第２版
Ｓ．Ｍ．ジィー
,
南日 康夫
,
川辺 光央
,
長谷川 文夫
著
在庫状況
お取り寄せ
お届け予定日
10日間
価格
\7,260（税込）
発行年月
2004年03月
出版社／提供元
産業図書
言語
日本語
媒体
冊子
ページ数／巻数
４９９ｐ
大きさ
27
ジャンル
和書
ISBN
9784782855508
商品コード
0104012307
NDC分類
549.8
基本件名
半導体
商品URL
https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=0104012307
内容
最近の半導体デバイス物理と作製技術のほとんどを網羅した入門書。デバイス形成の各段階において、評価と作製技術の理論と実際を集積回路に重点をおきつつ詳述。８７年刊の第２版。
