大見忠弘 　著

目次

序　章１．　半導体製造技術の課題１．　Ｕｌｔｒａｃｌｅａｎ　Ｗａｆｅｒ　Ｓｕｒｆａｃｅ２．　Ｕｌｔｒａｃｌｅａｎ　Ｐｒｏｃｅｓｓ　Ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔ２．　半導体製造技術における緊急開発課題１．　超微細リソグラフィ技術２．　超微細ＬＳＩ用装置３．　超高純度ガス供給系１．　ガス技術の理想像とそれに至る歴史２．　ガス技術の現状到達点第１章　特殊ガス供給のあるべき姿１．　＝＠特殊ガスとは１．１　特殊ガスの何が特殊なのか１．２　特殊ガスの供給の難しさ２．　ガス供給システムはどうあるべきか２．１　ウルトラクリーンの基本コンセプト２．２　特殊ガス供給システムでは何が起こるのか２．３　ガス技術の進むべき道とは２．４　超高純度ガス供給システムの理想像第２章　トラブルフリーを実現する材料・表面処理・溶接１．　ステンレス鋼の基本的な事項１．１　ステンレス鋼の生産量と製造技術１．２　ステンレス鋼の冶金的基本特性（諸特性に及ぼす元素の作用等）１．３　ステンレス鋼に現れる析出相１．４　ステンレス鋼での拡散１．５　ステンレス鋼の表面の不働態被膜の特性１．６　ステンレス鋼の酸化１．７　ステンレス鋼の初期酸化１．８　低酸素雰囲気におけるステンレス鋼の酸化挙動１．９　ステンレス鋼の電解・化学研磨１．１０　ステンレス鋼の溶接施工と溶接部品質２．　半導体製造プロセスで要求されるステンレス鋼の特性２．１　ステンレス鋼の水枯れ性２．２　ステンレス鋼の発塵（耐パーティクル性）２．３　ステンレス鋼の耐食性２．４　ステンレス鋼の耐触媒性２．５　ステンレス鋼の金属溶出性２．６　半導体製造プロセス用途のステンレス鋼３．　ステンレス鋼の規格化と国際的な整合性４．　酸化クロム不働態処理４．１　酸化クロム不働態膜はなぜ必要か４．２　１００％酸化クロム不働態膜の形成方法４．３　フェライト系ステンレス鋼の不働態処理４．４　オーステナイト系ステンレス鋼の不働態処理４．５　酸化クロム不働態膜形成のメカニズム４．６　酸化クロム不働態膜の特性５．　高性能クリーン溶接５．１　クリーン溶接に至るまで５．２　溶接部の汚染と腐食５．３　溶接によるマンガン汚染５．４　溶接部の機械的強度５．５　溶接部の腐食５．６　溶接部の耐腐食技術，　　溶接ビード部も含めた酸化クロム不働態処理５．７　溶接部を含む配管全体の評価５．８　溶接部の酸化クロム不働態処理５．９　外表面溶接焼け防止技術第３章　トラブルフリーを実現するガス供給システム要素技術１．　逆流フリーのガスフローシステム１．１　逆止弁の現実１．２　新型逆止弁１．３　部品に残された逆流の痕跡１．４　制御（電気）系の課題２．　インスペクションフリーを実現する高性能継手２．１　主要な継手の種類と特徴について２．２　トラブルの例２．３　新型高性能継手について２．４　ヒューマンエラー対策２．５　高性能小型継手の応用３．　　高純度化とトラブルフリーを実現するバルブ＆バルブ駆動システム３．１　バルブ開発の歴史（ボールバルブからオールメタルＣＲＰバルブまで）３．２　バルブトラブルの実例と対策３．３　誤動作フリーのバルブ駆動システム３．４　バルブシステム上のトラブル４．　ＡＰＩＭＳによる外部リークの極短時間評価４．１　一般的な外部リーク検査方法４．２　ＡＰＩＭＳによる新しい外部リーク検査方法４．３　ＡＰＩＭＳによる外部リーク検査方法を用いた場合の経済効果４．４　低コスト・高性能ガス配管施工技術の確立第４章　ウルトラクリーンガス技術が切り拓く高性能プロセス１．　アルミニウムおよびＳｉスパッタ成膜の高品質化１．１　Ｕｌｔｒａｃｌｅａｎ　Ｐｒｏｃｅｓｓ　Ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔ１．２　Ｕｌｔｒａｃｌｅａｎ　Ｗａｆｅｒ　Ｓｕｒｆａｃｅ１．３　Ｐｅｒｆｅｃｔ　Ｐａｒａｍｅｔｅｒ　Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ　Ｐｒｏｃｅｓｓ２．　ウルトラクリーンテクノロジーがもたらす新しい触媒化学２．１　何故固体触媒において水分の問題が重要なのか？２．２　ウルトラクリーン固定床流通式触媒反応器２．３　水分の影響は微量でも大きい２．４　水を好む触媒もあります