薄膜作成の基礎 第２版
麻蒔立男
著
品切
価格
\3,631（税込）
発行年月
1984年07月
出版社／提供元
日刊工業新聞社
言語
日本語
媒体
冊子
ページ数／巻数
２４９，
大きさ
22
ジャンル
和書
ISBN
9784526017438
商品コード
0184001244
商品URL
https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=0184001244
内容
薄膜を作るのに必要不可欠な真空技術の基礎と多様な薄膜作成技術につき平易に解説．旧版を全面改訂．◎項目 真空の基礎 真空ポンプと計測 真空装置 薄膜の実際 真空薄膜作成法 蒸着法 スパッタ気相成長法・ＣＶＤドライエッチング薄膜評価装置 他
