半導体結晶成長
大野 英男
著
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価格
\4,180(税込)
発行年月
1999年02月
出版社/提供元
コロナ社
言語
日本語
媒体
冊子
ページ数/巻数
265p
大きさ
22
ジャンル
和書
ISBN
9784339007046
商品コード
0198101004
NDC分類
549.8
基本件名
半導体
商品URL
https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=0198101004
目次
1.走査型トンネル顕微鏡によるシリコン固相エピタキシー過程のその場観察2.Si−Ge系のCVDエピタキシーと原子層成長制御3.GaAsの単分子成長機構ほか8章