Materials for Microlithography: Radiation-sensitive polymers.(ACS Symposium Series No. 266) cloth viii, 494 p.
Thompson, L.F.,
Willson, C.G.,
Fréchet, J.M.J.
編
発行年月 |
1984年01月 |
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| 出版社／提供元 |
American Chemical Society Book Department |
出版国 |
アメリカ合衆国 |
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言語 |
英語 |
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媒体 |
冊子 |
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装丁 |
cloth |
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ページ数／巻数 |
viii, 494 p. |
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ジャンル |
洋書 |
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ISBN |
9780841208711 |
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商品コード |
0205013385 |
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| 商品URL | https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=0205013385 |
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内容
Based on a symposium at the 187th meeting of the American Chemical Society, St. Louis, Missouri, April 8-13, 1984
