【MeL】半導体製造プロセス材料とケミカルス
坂本 正典
監修
価格
\12,100（税込）
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発行年月
2006年09月
出版社／提供元
シーエムシー出版
言語
日本語
媒体
電子
ページ数／巻数
329p
ジャンル
和書
商品コード
1008060831
NDC分類
549.8
基本件名
半導体
商品URL
https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=1008060831
内容
シリコンウェハーからフォトレジスト、ＣＭＰ研磨剤、ＣＶＤガス、洗浄剤、実装材料まで多岐にわたる半導体製造用の材料・ケミカルスの技術動向、要求特性、将来展望などの最新情報を提供する。
