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真空科学ハンドブック
日本真空学会
編
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お届け予定日
1週間
価格
\22,000（税込）
発行年月
2018年03月
出版社／提供元
コロナ社
言語
日本語
媒体
冊子
ページ数／巻数
8p,578p
大きさ
27cm
版型
B5
ジャンル
和書／理工学／機械工学／流体工学
ISBN
9784339009088
商品コード
1027110533
NDC分類
534.93
基本件名
真空技術
本の性格
学術書/実務向け
新刊案内掲載月
2018年05月2週
商品URL
https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=1027110533
内容
真空の科学的基礎を解説。また、成膜、プラズマプロセスなどの応用分野で真空環境の役割を説き、極高真空などのこれまでにない真空環境が要求される研究・応用への取組みなどを紹介する。
