桜井 健次 　著

著者紹介

内容

目次

1　X線反射率の基礎 1.1　光とX線 1.2　X線反射率法の特徴 1.3　膜密度はどのように決まるか 1.4　膜厚はどのように決まるか 1.5　膜の表面・界面粗さはどのように決まるか 1.6　いろいろな反射率計算法 1.7　結晶からの反射率 1.8　共鳴磁気反射率 1.9　コヒーレンスとコヒーレント回折 1.10　実際の測定とデータ解析の基礎 2　X線反射率の測定装置と測定方法 2.1　X線反射率測定装置に必要な条件 2.2　X線反射率測定装置の実際 2.3　反射率の測定方法 2.4　散漫散乱測定 2.5　平行X線ビームと2次元検出器の組み合わせによる測定 3　X線反射率のデータ解析法 3.1　はじめに 3.2　X線反射率のデータ解析の前に 3.3　最小二乗法フィッティングによる膜構造解析の手順 3.4　単層膜の解析と精度の評価 3.5　多層膜の解析と精度の評価 3.6　多波長X線反射率法 3.7　2波長法による多層膜構造解析 3.8　3波長法による多層膜構造解析 3.9　反射率解析の今後 3.10　まとめ 4　X線反射率のデータ解析の注意事項 4.1　はじめに 4.2　理論反射率の与えるプロファイルの一意性について 4.3　個々のパラメータのX線反射率プロファイルへの寄与の仕方 4.4　最小二乗フィッティング計算に由来する問題 4.5　構造モデルに過度に依存しない解析の試み 4.6　おわりに 5　微小領域分析およびイメージングへの展開 5.1　顕微鏡・イメージング手法とX線反射の融合 5.2　放射光ナノビームによる微小領域分析 5.3　高エネルギー白色X線による微小領域分析 5.4　画像再構成法によるイメージング 5.5　微小領域分析・イメージングの今後 6　時々刻々変化する系の追跡への展開 6.1　はじめに 6.2　多チャンネルX線反射率法（Naudonの方法） 6.3　白色X線反射スペクトル法 6.4　従来の角度走査型の装置によるその場計測 6.5　時々刻々変化する系を追跡するX線反射率計測の近未来 7　X線反射率法の応用 7.1　半導体薄膜 7.2　ハードディスク 7.3　X線光学用多層膜 7.4　電気化学界面などの固液界面 7.5　有機・高分子薄膜 7.6　液体の表面，界面，単分子膜 8　X線反射率法と併用すると有意義な関連技術 8.1　微小角入射蛍光X線分析法 8.2　微小角入射X線回折法 8.3　共鳴軟X線スペクトル法 8.4　GISAXS法 8.5　X線光子相関分光法 9　中性子の利用 9.1　はじめに 9.2　中性子反射光学の基礎 9.3　中性子反射率法の特徴 9.4　中性子反射率法の適用例 9.5　X線反射率法経験者の目から見た中性子の利用 おわりに　X線反射率の100年 付録1　C++によるX線・中性子反射率計算プログラム 付録2　Pythonによる反射率計算プログラム