KNOWLEDGE WORKER ナレッジワーカー



eBook

半導体・MEMSのための超臨界流体(電子版/PDF)

近藤　英一, 上野　和良, 内田　寛, 曽根　正人, 生津　英夫, 服部　毅, 堀　照夫, 森口　誠 　著

   
価格 \3,740（税込）         
発行年月 2012年08月
出版社／提供元
コロナ社
言語 日本語
媒体 EBOOK
ファイル形式 PDF
ページ数／巻数 7p,227p
ジャンル 和書／理工学／電気・電子工学／電気機器
ISBN 9784339208375
商品コード 1030593939
NDC分類 549.8
新刊案内掲載月 2012年10月2週
商品URLhttps://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=1030593939

著者紹介

近藤　英一（著者）：早稲田大学大学院博士前期課程修了(資源および金属工学専攻)。川崎製鐵ハイテク研究所主任研究員、IMECエキスパート研究員などを経て、山梨大学教授。

内容

気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体について，その特長と，乾燥，めっき，薄膜体積，洗浄など，半導体・ＭＥＭＳのユニットプロセ

【eBookご利用の注意点】この商品をご利用するには、ソフトウェア「CypherGuared PDF」が必要です。eBookご利用案内からダウンロードしてインストールを行い、サンプルファイルで稼動確認された上でご利用ください。●動作環境はこちらでご確認ください。　●同一ライセンスIDでの利用端末数3台まで　●TEXT/画像コピー不可　●印刷不可　●その他ご利用条件については、ご利用規約をご確認ください。
※この商品のご購入は、個人の方が対象となります。図書館・図書室ではご購入いただけません。

目次