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Materials for Microlithography: Radiation-sensitive polymers.(ACS Symposium Series　No. 266)　cloth　viii, 494 p.

Thompson, L.F., Willson, C.G., Fréchet, J.M.J. 　編

絶版
価格 \-

発行年月	1984年01月
出版社／提供元	American Chemical Society Book Department
出版国	アメリカ合衆国
言語	英語
媒体	冊子
装丁	cloth
ページ数／巻数	viii, 494 p.
ジャンル	洋書
ISBN	9780841208711
商品コード	0205013385
商品URL	https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=0205013385

内容

Based on a symposium at the 187th meeting of the American Chemical Society, St. Louis, Missouri, April 8-13, 1984

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