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薄膜作成の基礎　第２版　

品切
価格 \3,631（税込）

発行年月	1984年07月
出版社／提供元	日刊工業新聞社
言語	日本語
媒体	冊子
ページ数／巻数	２４９，
大きさ	22
ジャンル	和書
ISBN	9784526017438
商品コード	0184001244
商品URL	https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=0184001244

内容

薄膜を作るのに必要不可欠な真空技術の基礎と多様な薄膜作成技術につき平易に解説．旧版を全面改訂．◎項目真空の基礎真空ポンプと計測真空装置薄膜の実際真空薄膜作成法蒸着法スパッタ気相成長法・ＣＶＤドライエッチング薄膜評価装置他

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