ガスサイエンスが拓くプロタクト・イノ
大見忠弘 著
目次
序 章1. 半導体製造技術の課題1. Ultraclean Wafer Surface2. Ultraclean Process Environment2. 半導体製造技術における緊急開発課題1. 超微細リソグラフィ技術2. 超微細LSI用装置3. 超高純度ガス供給系1. ガス技術の理想像とそれに至る歴史2. ガス技術の現状到達点第1章 特殊ガス供給のあるべき姿1. =@特殊ガスとは1.1 特殊ガスの何が特殊なのか1.2 特殊ガスの供給の難しさ2. ガス供給システムはどうあるべきか2.1 ウルトラクリーンの基本コンセプト2.2 特殊ガス供給システムでは何が起こるのか2.3 ガス技術の進むべき道とは2.4 超高純度ガス供給システムの理想像第2章 トラブルフリーを実現する材料・表面処理・溶接1. ステンレス鋼の基本的な事項1.1 ステンレス鋼の生産量と製造技術1.2 ステンレス鋼の冶金的基本特性(諸特性に及ぼす元素の作用等)1.3 ステンレス鋼に現れる析出相1.4 ステンレス鋼での拡散1.5 ステンレス鋼の表面の不働態被膜の特性1.6 ステンレス鋼の酸化1.7 ステンレス鋼の初期酸化1.8 低酸素雰囲気におけるステンレス鋼の酸化挙動1.9 ステンレス鋼の電解・化学研磨1.10 ステンレス鋼の溶接施工と溶接部品質2. 半導体製造プロセスで要求されるステンレス鋼の特性2.1 ステンレス鋼の水枯れ性2.2 ステンレス鋼の発塵(耐パーティクル性)2.3 ステンレス鋼の耐食性2.4 ステンレス鋼の耐触媒性2.5 ステンレス鋼の金属溶出性2.6 半導体製造プロセス用途のステンレス鋼3. ステンレス鋼の規格化と国際的な整合性4. 酸化クロム不働態処理4.1 酸化クロム不働態膜はなぜ必要か4.2 100%酸化クロム不働態膜の形成方法4.3 フェライト系ステンレス鋼の不働態処理4.4 オーステナイト系ステンレス鋼の不働態処理4.5 酸化クロム不働態膜形成のメカニズム4.6 酸化クロム不働態膜の特性5. 高性能クリーン溶接5.1 クリーン溶接に至るまで5.2 溶接部の汚染と腐食5.3 溶接によるマンガン汚染5.4 溶接部の機械的強度5.5 溶接部の腐食5.6 溶接部の耐腐食技術, 溶接ビード部も含めた酸化クロム不働態処理5.7 溶接部を含む配管全体の評価5.8 溶接部の酸化クロム不働態処理5.9 外表面溶接焼け防止技術第3章 トラブルフリーを実現するガス供給システム要素技術1. 逆流フリーのガスフローシステム1.1 逆止弁の現実1.2 新型逆止弁1.3 部品に残された逆流の痕跡1.4 制御(電気)系の課題2. インスペクションフリーを実現する高性能継手2.1 主要な継手の種類と特徴について2.2 トラブルの例2.3 新型高性能継手について2.4 ヒューマンエラー対策2.5 高性能小型継手の応用3. 高純度化とトラブルフリーを実現するバルブ&バルブ駆動システム3.1 バルブ開発の歴史(ボールバルブからオールメタルCRPバルブまで)3.2 バルブトラブルの実例と対策3.3 誤動作フリーのバルブ駆動システム3.4 バルブシステム上のトラブル4. APIMSによる外部リークの極短時間評価4.1 一般的な外部リーク検査方法4.2 APIMSによる新しい外部リーク検査方法4.3 APIMSによる外部リーク検査方法を用いた場合の経済効果4.4 低コスト・高性能ガス配管施工技術の確立第4章 ウルトラクリーンガス技術が切り拓く高性能プロセス1. アルミニウムおよびSiスパッタ成膜の高品質化1.1 Ultraclean Process Environment1.2 Ultraclean Wafer Surface1.3 Perfect Parameter Controlled Process2. ウルトラクリーンテクノロジーがもたらす新しい触媒化学2.1 何故固体触媒において水分の問題が重要なのか?2.2 ウルトラクリーン固定床流通式触媒反応器2.3 水分の影響は微量でも大きい2.4 水を好む触媒もあります
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