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丸善のおすすめ度

薄膜工学第2版

金原　粲　監修
日本学術振興会薄膜第131委員会　他

絶版
価格 \4,180（税込）

発行年月	2011年06月
出版社／提供元	丸善出版
言語	日本語
媒体	冊子
ページ数／巻数	12p,295p
大きさ	21cm
ジャンル	和書／理工学／電気・電子工学／電気機器
ISBN	9784621084144
商品コード	1003164395
NDC分類	549.8
基本件名	薄膜
本の性格	テキスト
新刊案内掲載月	2011年08月1週
商品URL	https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=1003164395

内容

薄膜技術の基本事項から、微細加工技術を用いた2次元・3次元微細構造の導入や基板の大型化・高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子・分子スケールでの測定技術まで、分かりやすく解説する。

1 薄膜工学の基礎(薄膜の基礎薄膜のプロセスと応用) 2 薄膜の作製法(真空蒸着スパッタリング化学気相成長法) 3 薄膜の評価(形状・構造評価組成評価・分析力学的・機械的性質の評価) 4 薄膜の機能と応用(半導体薄膜光学薄膜と透明導電膜誘電体薄膜磁性薄膜薄膜の化学的性質と機能有機薄膜)

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