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半導体デバイス～基礎理論とプロセス技術～ 第２版
Ｓ．Ｍ．ジィー,
南日 康夫,
川辺 光央,
長谷川 文夫
著
発行年月 |
2004年03月 |
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言語 |
日本語 |
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媒体 |
冊子 |
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ページ数／巻数 |
４９９ｐ |
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大きさ |
27 |
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ジャンル |
和書 |
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ISBN |
9784782855508 |
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商品コード |
0104012307 |
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NDC分類 |
549.8 |
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商品URL
| https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=0104012307 |
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内容
最近の半導体デバイス物理と作製技術のほとんどを網羅した入門書。デバイス形成の各段階において、評価と作製技術の理論と実際を集積回路に重点をおきつつ詳述。８７年刊の第２版。
