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ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎

表面技術協会　編

在庫状況有り	お届け予定日 3～4日	数量冊
価格 \3,080（税込）

発行年月	2013年04月
出版社／提供元	コロナ社
言語	日本語
媒体	冊子
ページ数／巻数	6p,198p
大きさ	21cm
ジャンル	和書／理工学／工学一般／工学一般
ISBN	9784339046311
商品コード	1012866972
NDC分類	566.78
基本件名	めっき
本の性格	実務向け
新刊案内掲載月	2013年06月1週
商品URL	https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=1012866972

内容

ドライプロセスの基礎を学ぼうとする初学者のための入門書。ドライプロセスとプラズマに関する概要と歴史的発展過程から、真空とプラズマの基礎、代表的なドライプロセスの原理・原則、薄膜・表面評価分析技術までを解説する。

1 ドライプロセスとプラズマ(表面処理ドライプロセスと真空ほか) 2 真空およびプラズマ(真空プラズマほか) 3 ドライプロセスによる表面処理と薄膜形成(真空蒸着イオンプレーティングほか) 4 分析と評価(膜厚測定表面分析ほか)

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