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丸善のおすすめ度
【MeL】ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎（DL不可）
表面技術協会
編
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数量
冊
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価格
\10,164（税込）
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発行年月 |
2013年04月 |
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言語 |
日本語 |
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媒体 |
電子 |
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ページ数／巻数 |
6p,198p |
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ジャンル |
和書／理工学／工学一般／工学一般 |
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商品コード |
1031840296 |
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NDC分類 |
566.78 |
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本の性格 |
実務向け |
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商品URL
| https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=1031840296 |
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内容
本書では，まずドライプロセスの歴史的発展過程にふれ，次にこれを支える基盤技術である「真空」「プラズマ」を解説。さらに，代表的なドライプロセスを取り上げ，どのような原理・原則に基づいているか，薄膜・表面評価分析技術について解説。
