薄膜工学 第3版
吉田 貞史, 近藤 高志 著
内容
目次
1 薄膜工学の基礎(薄膜の歴史 薄膜と工学 ほか) 2 薄膜作製法(真空蒸着法・MBE法 スパッタリング ほか) 3 薄膜評価法(膜厚・形状評価 結晶構造評価 ほか) 4 薄膜の機能と応用(半導体薄膜(シリコン系) 半導体薄膜(化合物) ほか)
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