商品詳細 | Knowledge Worker

半導体製造プロセス材料とケミカルス　

坂本　正典　監修

絶版
価格 \71,500（税込）

発行年月	2006年09月
出版社／提供元	シーエムシー出版
言語	日本語
媒体	冊子
ページ数／巻数	329p
大きさ	27
ジャンル	和書
ISBN	9784882315889
商品コード	0106095768
NDC分類	549.8
基本件名	半導体
商品URL	https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=0106095768

内容

シリコンウェハーからフォトレジスト、ＣＭＰ研磨剤、ＣＶＤガス、洗浄剤、実装材料まで多岐にわたる半導体製造用の材料・ケミカルスの技術動向、要求特性、将来展望などの最新情報を提供する。

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