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【MeL】半導体製造プロセス材料とケミカルス

坂本　正典　監修

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価格 \12,100（税込）
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発行年月	2006年09月
出版社／提供元	シーエムシー出版
言語	日本語
媒体	電子
ページ数／巻数	329p
ジャンル	和書
商品コード	1008060831
NDC分類	549.8
基本件名	半導体
商品URL	https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=1008060831

内容

シリコンウェハーからフォトレジスト、ＣＭＰ研磨剤、ＣＶＤガス、洗浄剤、実装材料まで多岐にわたる半導体製造用の材料・ケミカルスの技術動向、要求特性、将来展望などの最新情報を提供する。

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