日本学術振興会R025先進薄膜界面機能創成委員会編 編集企画 田畑 仁 編著 吉田 貞史 編著 近藤 高志 編著
A5 320 並製
丸善出版
読者対象 : 大学学部学生、大学院生、企業の若手技術者
ISBN : 978-4-621-30978-0
薄膜の作製・評価・性質を系統的にまとめた入門書。大学学部生、大学院生、企業の若手技術者に広く使用されてきた標準的解説書の改訂版。第4版では、新たに3つの節「半導体薄膜(ワイドバンドギャップ材料)」「ハロゲン化金属ペロブスカイト薄膜」「2次元材料薄膜(グラフェン、MX2など)」を追加し、本分野の技術進展や社会的要請にあわせて内容を充実。